Opis
Horibini spektroskopski elipsometri zagotavljajo visoko zmogljivost za analizo tankih plasti, omogočajo določanje debeline plasti, optičnih konstant, homogenosti in hrapavosti površin. Horiba Auto SE in Horiba Uvisel Plus sta opremljena z napredno programsko opremo DeltaPsi2, ki omogoča modeliranje in analizo podatkov z bogato bazo materialnih modelov ter orodji za 2D in 3D vizualizacijo. Obe napravi omogočata prilagoditev različnim laboratorijskim potrebam, a se razlikujeta po funkcionalnostih in ciljni uporabi.
- Auto SE je kompakten, uporabniku prijazen spektroskopski elipsometer, zasnovan za hitro in enostavno analizo tankih plasti. Sistem je optimiziran za rutinsko uporabo v industriji in laboratorijih, kjer so potrebne hitre meritve. Tehnologija MyAutoView omogoča samodejno pozicioniranje vzorca, kar zagotavlja natančne in ponovljive rezultate. Spektrometer Auto SE vključuje visoko ločljiv CCD-detektor, ki podpira meritve v spektralnem območju od 450 do 1000 nm. Običajen čas analize je le nekaj sekund, zaradi česar je Auto SE primeren za vsakodnevne meritve v laboratorijih, kjer so hitrost, enostavnost uporabe in zanesljivost ključne lastnosti. Intuitivna zasnova sistema omogoča hitro prilagajanje in avtomatizirano upravljanje, kar zmanjšuje čas, potreben za usposabljanje uporabnikov, in olajša integracijo v procese nadzora kakovosti.
- UVISEL Plus je modularen spektroskopski elipsometer, zasnovan za zahtevne raziskovalne aplikacije, kjer so potrebni visoka natančnost, fleksibilnost in širok spektralni razpon. Ta napredni sistem temelji na tehnologiji modulacije faze, kar omogoča meritve kompleksnejših vzorcev in nanostruktur z izjemno natančnostjo. UVISEL Plus pokriva širok spektralni razpon, ki sega od globokega UV (190 nm) do bližnjega IR (2100 nm), kar omogoča meritve tako ultra tankih, kot tudi debelejših plasti. Sistem vključuje tehnologijo FastAcq, ki omogoča hitro zbiranje podatkov z visoko občutljivostjo in ločljivostjo. To je posebej pomembno pri meritvah materialov z nizkim optičnim kontrastom. Poleg tega UVISEL Plus podpira mikrospot modul, ki omogoča natančno analizo vzorcev z majhnimi merilnimi področji, kar je še posebej koristno pri analizah vzorcev, kjer je potrebna visoka prostorska ločljivost.
DeltaPsi2, programska oprema, ki podpira oba elipsometra, vključuje bogato bazo materialnih modelov in nabor naprednih orodij za modeliranje, simulacijo in analizo tankih plasti. Ta programska oprema omogoča raziskovalcem in industrijskim strokovnjakom, da prilagodijo meritve specifičnim zahtevam svojih aplikacij, pri čemer so na voljo prilagodljive funkcije za obdelavo in vizualizacijo podatkov. Možnost sprotnega ustvarjanja poročil in integracije z različnimi laboratorijskimi sistemi omogoča uporabo tako v raziskovalnih kot tudi v proizvodnih okoljih, kjer so visoka natančnost, ponovljivost in prilagodljivost zahtevane.
Horiba Auto SE in UVISEL Plus predstavljata vrhunska orodja za spektroskopsko elipsometrijo, a sta prilagojena različnim ciljnim skupinam uporabnikom. Auto SE je idealna izbira za laboratorije, kjer so potrebne hitre, rutinske meritve, saj omogoča enostavno upravljanje in avtomatizirano analizo tankih plasti. UVISEL Plus pa zaradi modularne zasnove, širšega spektralnega območja in tehnologije modulacije faze omogoča naprednejše raziskave, ki zahtevajo visoko natančnost in prilagodljivost.
